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2025年5月10日,宁波工程学院芯流科技团队举办了一场别开生面的“半导体工艺气体安全与技术”科普公益活动。活动以趣味互动与科技实践为核心,吸引了近百名青少年参与,通过多维度展示半导体制造中的“隐形功臣”——工艺气体,助力青少年揭开芯片制造的神秘面纱,同时强化安全操作意识,为未来科技人才培养注入新动能。
芯流科技团队在东校区进行半导体工艺气体了解度调查
活动现场,芯流智驭志愿者团队设计了“理论+实践”的沉浸式学习链条。在科普讲堂中,讲师以“气体如何造芯”为切入点,结合动态模型演示与高清视频,生动解析了磊晶、蚀刻等关键工艺中气体的作用原理,例如氮化硅沉积所需的硅烷气体、等离子刻蚀中的氟基气体等。青少年们通过互动装置,亲手操控模拟气体输送系统,观察不同气体参数对芯片良率的影响,直观感受“差之毫厘,谬以千里”的精密制造逻辑。
芯流科技团队在东校区举行半导体工艺气体科普宣讲
活动特别设置“安全特训营”环节,通过情景模拟装置还原高纯度气体泄漏场景。参与者需快速识别报警信号,穿戴防护装备并启动应急流程。一位中学生在体验后感叹:“原来一个小小的阀门操作失误就可能引发连锁反应,工程师的责任比想象中更重大!”这种寓教于乐的实践不仅让青少年掌握应急处置技能,更深化了“安全即科技底线”的认知。
本次活动不仅是一场知识盛宴,更成为产学研联动的桥梁。现场展示的智能化气体监控设备和绿色循环技术,体现了半导体行业向安全化、低碳化转型的趋势。活动负责人表示:“青少年对气体技术的兴趣与安全意识提升,将倒逼企业优化工艺管理,推动行业可持续发展。”未来,学院计划联合半导体企业开展“工厂开放日”,让科普走出校园,衔接真实产业场景。
此次公益活动以“小气体”透视“大科技”,在青少年心中播下了探索与责任的种子,也为半导体行业的技术革新与人才储备提供了新思路。正如参与学生所言:“今天的实验台,或许就是明天中国‘芯’的起点。”
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审核:孙诩群 黄霄云 责任编辑:张川
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